熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)（TMF）目前絕大部分用于測(cè)量氣體，只有少量用于測(cè)量微小液體流量。熱分布式儀表使用口徑和流量均較小，較多應(yīng)用于半導(dǎo)工業(yè)外延擴(kuò)散、石油化工微型反應(yīng)裝置、鍍膜工藝、光導(dǎo)纖維制造、熱處理淬火爐等各種場(chǎng)所的氫、氧、氨、燃?xì)獾葰怏w流量控制，以及固體致冷中固體氬蒸發(fā)等累積量和閥門(mén)制造中泄漏量的測(cè)量等。在氣體色譜儀和氣體分析儀等分析儀器上，用于監(jiān)控取樣氣體量。分流型熱分布式儀表應(yīng)用于30~50mm以上管徑時(shí)，通常在主流管道上裝孔板等節(jié)流裝置或均速管，分流部分氣體到流量傳感器進(jìn)行測(cè)量。

冷卻效應(yīng)的插入式TMF國(guó)外近10年在環(huán)境保護(hù)和流程工業(yè)中應(yīng)用發(fā)展迅速，例如：水泥工業(yè)豎式磨粉機(jī)排放熱氣流量控制，煤粉燃燒過(guò)程粉/氣配比控制，污水處理發(fā)生的氣體流量測(cè)量，燃料電池工廠各種氣體流量測(cè)量等等。大管道用還有徑向分段排列多組檢測(cè)元件組成的插入檢測(cè)桿，應(yīng)用于鍋爐進(jìn)風(fēng)量控制以及煙囪煙道排氣監(jiān)測(cè)SO2和NOX排放總量。

液體微小流量TMF應(yīng)用于化學(xué)、石油化工、食品等流程工業(yè)實(shí)驗(yàn)性裝置，如液化氣流量測(cè)量，注入過(guò)程中控制流量；高壓泵流量控制的反饋量；藥液配比系統(tǒng)定流量配比控制；直接液化氣液態(tài)計(jì)量后氣化，供給工業(yè)流程或商業(yè)銷(xiāo)售。還有在色譜分析等儀器上用作定量液取樣控制以及用于動(dòng)物實(shí)驗(yàn)麻醉液流量測(cè)量。還未見(jiàn)到液體微小流量TMF國(guó)內(nèi)定型產(chǎn)品。

一、儀表性能考慮

（1）流量范圍、流速和范圍度

TMF的流量應(yīng)以單位時(shí)間流過(guò)的質(zhì)量來(lái)表示，但測(cè)量氣體時(shí)習(xí)慣上亦常以計(jì)算到標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下單位時(shí)間流過(guò)的體積表示。流速亦以標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下單位時(shí)間流過(guò)距離的長(zhǎng)度表示。與其他流量計(jì)相比，TMF適用于低流速范圍，特別是小口徑熱分布式；帶測(cè)量短管浸入檢測(cè)桿式可選上限（滿度）流速范圍較寬，上限范圍度（最大上限流量/最小上限流量）在10~30（TH1200型）和60~80(TH1300型)之間。

插入式TMF的上限流速選擇范圍較寬，可在0.5~100m/s,但較多用于3~60m/s之間，視儀表結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)而異。插入式TMF適用于低流速煙道氣測(cè)量。

液體用TMF的上限流量很小，國(guó)外現(xiàn)有產(chǎn)品上限流量范圍在10－1~102g/min數(shù)量級(jí)之間；流量范圍度在10:1~50:1之間。

（2）精確度和重復(fù)性

TMF具有中等測(cè)量精確度。熱分布式的基本誤差通常在±（2~2.5）%FS之間。國(guó)外設(shè)計(jì)優(yōu)良的產(chǎn)品則有較高精確度，基本誤差為±1%FS，重復(fù)性則在0.2%~0.5%FS之間。帶測(cè)量短管浸入式的基本誤差相仿，亦在±（2~2.5）%之間，設(shè)計(jì)優(yōu)良的產(chǎn)品可達(dá)±2%R。插入式除儀表本身基本誤差外，還應(yīng)加上流速分布系數(shù)變化影響等，單點(diǎn)測(cè)量影響較大，多點(diǎn)或多檢測(cè)桿則影響較小，合計(jì)約在±（2.5~5）%FS之間。插入式儀表檢測(cè)的點(diǎn)數(shù)視流通面積和流動(dòng)狀況而定，有制造廠在正常流速分布流動(dòng)狀況下，推薦檢測(cè)點(diǎn)數(shù)為：；圓管直徑在200mm以下為單位單點(diǎn)，200~300mm為雙點(diǎn)，350~700mm為3~4點(diǎn)，750~1200為5點(diǎn)，1250mm以上為6點(diǎn)。矩形管面積0.05m2以下為單點(diǎn)，0.1~0.2m2為2~4點(diǎn)，0.2~2.5mm2為4~12點(diǎn)，2.5m2以上為12~20為點(diǎn)。

（3）響應(yīng)性

在流量?jī)x表中TMF的響應(yīng)時(shí)間是比較長(zhǎng)的，時(shí)間常數(shù)一般為2~5s，響應(yīng)較快者為0.5s，有些型號(hào)長(zhǎng)達(dá)數(shù)秒、十幾秒甚至幾十秒者。若應(yīng)用于控制系統(tǒng)不能選用響應(yīng)時(shí)間長(zhǎng)的儀表。

（4）流體溫度，環(huán)境溫度和環(huán)境溫度影響量

流體使用溫度一般為0~500C，范圍較寬者為─10~1200C，應(yīng)用于窯爐或煙道的高溫高粉塵型則可高達(dá)5500C。加熱熱源溫度高于氣體數(shù)十度（K）。

測(cè)量氣體時(shí)流體溫度變化，不像體積流量?jī)x表那樣氣體體積變化改變所測(cè)（體積）流量，并不影響質(zhì)量流量，然而如前文所述若溫度變化過(guò)大，比熱容的變化會(huì)導(dǎo)致量程變化。這種影響因氣體種類而異，如空氣、氮?dú)?、氧氣、氫氣等影響量不大；但有些氣體例如甲烷壓力在0.1MPa，溫度從300K升高到400K定壓比熱容要增加11.1%。此外還有零點(diǎn)偏移影響。

環(huán)境溫度適用范圍通常為(0~50)0C。較寬者為(─10~+80)0C。環(huán)境溫度激烈變化將影響經(jīng)外殼散失的熱量，導(dǎo)致測(cè)量值的變化，包括零點(diǎn)偏移和量程變化。環(huán)境溫度影響量一般為±(0.5~1.5)%/10K，但也有一些制造廠聲稱無(wú)環(huán)境溫度影響。

（5）壓力損失

氣體用儀表壓力損失很小，滿量程流量時(shí)熱分布式壓力損失均在10kpa以下，其中帶層流分流部件（或無(wú)分流部件）的小管型，如LDG-1DB、LDG-2DB型僅數(shù)十帕；浸入式亦僅數(shù)十帕。

二、安裝方向

1）熱分布式大部分熱分布式TMF的流量傳感器可任何姿勢(shì)（水平、垂直或傾斜）安裝，有些儀表只要安裝好后在工作條件壓力、溫度下作電氣零點(diǎn)調(diào)整。然而有些型號(hào)儀表對(duì)安裝姿勢(shì)具有敏感性，大部分制造廠會(huì)對(duì)此就安裝姿勢(shì)影響和安裝要求作出說(shuō)明。例如LDG-DB系列為減少環(huán)境氣氛對(duì)流傳熱影響，只能水平安裝，水平度允差±20。應(yīng)用于高壓氣體時(shí)流量傳感器則寧可選擇水平安裝，因?yàn)檫@樣便于做到調(diào)零的零偏置。

2）浸入式大部分浸入式TMF性能不受安裝姿勢(shì)影響。然而在低流速測(cè)量時(shí)因受管道內(nèi)氣體對(duì)流的熱流影響，使安裝姿勢(shì)顯得重要。因此在低和非常低流速流動(dòng)時(shí)要獲得精確測(cè)量，必須遵循制造廠依據(jù)儀表設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)而定的安裝建議。

三、直管段要求

1）熱分布式本類儀表對(duì)上下游配管布置不敏感，通常認(rèn)為無(wú)上下游直管段長(zhǎng)度要求。國(guó)際標(biāo)草案ISO/DIS11451認(rèn)為流量測(cè)量不受旋轉(zhuǎn)流和流速場(chǎng)剖面畸變影響。然而B(niǎo)S7405卻認(rèn)為；①上下游直管段長(zhǎng)度可小至2D；②在進(jìn)口端置一金屬（或塑料）網(wǎng)，可有效地改善流速分布畸變，得到分布均勻的氣流；③要防止從小管徑突然擴(kuò)大進(jìn)入較大口徑儀表，要緩慢過(guò)渡。

2）浸入式帶測(cè)量管的浸入式流量傳感器和插入式儀表需要一定長(zhǎng)度前置直管段，ISO/DIS14511對(duì)此未作具體規(guī)定，而按制造廠建議的值。BS7405建議對(duì)于在管道中用插入熱絲流速計(jì)時(shí)，需要(8~10)D的上游直管段和(3~5)D的下游直管段。表4列舉Sierra公司對(duì)帶測(cè)量管浸入式TMF所規(guī)定的上直管段長(zhǎng)度；若在其進(jìn)口端裝一塊或二快多孔板式流動(dòng)調(diào)整器（整流器）后，則其長(zhǎng)度可大為縮短。